Reinraum

REINRAUM / FLOWBOX

Unsere beiden Implantationsanlagen: HVEC, und NV10

befinden sich in einem geschlossenen Reinraum der Firma SCHILLING ENGINEERING. Dieser Reinraum erfüllt die Anforderungen der 

Klasse 1000 (US FED STD 209E) bzw. Klasse 100 / ISO-Klasse 5.

Reinraum

Reinraum: HVEC und NV10

Für unsere Implantationsanlage: ROBOT150

haben wir eine Flowbox installiert, die im Bereich des Waferhandlings ebenfalls die Anforderungen der 

Klasse 1000 (US FED STD 209E) bzw. Klasse 100 / ISO-Klasse 5 ermöglicht.

Flowbox

Flowbox: ROBOT150

Für unsere Implantationsanlage: ROBOT200

haben wir einem geschlossenen Reinraum der Firma solutions-handling. Dieser Reinraum erfüllt die Anforderungen der 

Klasse 1000 (US FED STD 209E) bzw. Klasse 100 / ISO-Klasse 5.

ROBOT200 Beamline_Cleanroom

Reinraum: ROBOT200

Auf Kundenwunsch können Produkte die erhöhte Anforderungen an Partikelfreiheit haben unter den Bedingungen der 

Klasse 100 / ISO-Klasse 5 prozessiert werden.