Die XPS/ AES Anlage für Photoelektronen- und Augerelektronen Spektroskopie ist eine Anlage der Firma Vacuum Generators. Sie ist ausgestattet …

… mit einem CLAM2 hemisphärischen Elektronenspektrometer, einer 15 kV Dual-Anode-Röntgenröhre, die Al-K_α und Mg-K_α Röntgenstrahlung für die Analyse liefert und einer 5kV Elektronenkanone. Mit einer Ionenkanone können die Probenoberflächen gesputtert werden. Ein Photomultiplier und eine Ablenkeinheit der Elektronenkanone erlaubt es, Sekundärelektronenbilder der Probe aufzunehmen. Die Schleusenkammer der Anlage kann bis zu sechs Proben mit einem Durchmesser von bis zu 25 mm in die Anlage aufnehmen, die dann über ein magnetisch gekoppeltes Transfersystem in die Analysenkammer eingeschleust werden können. Der Basisdruck in der Analysenkammer liegt im Bereich von 10^-9 mbar.