Sonstige

Räume für die Ausbildung von Studierenden, Labore (Aufdampflabor, Halbleiterlabor) ohne Kontrollbereich nach Strahlenschutzverordnung (StrlSchV).

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Unser Aufdampflabor ist u.a. ausgestattet mit:

Aufdampf-Halbleiterlabor

  • Aufdampfanlage 1: Cressington Carbon Coater, Typ 108auto
  • Aufdampfanlage 2: Cressington Carbon Coater, Typ 108carbon/A
  • Aufdampfanlage 3: BOC Edwards Auto 306
  • Plasmaanlage: Diener electronic, Plasma-Surface-Technology, Typ xxx
  • Hochtemperatur-Vakuumofen: ...

Dazu sind noch eine Glovebox, ein weiterer Ofen von Carbolite vorhanden.


In dem Raum befindet sich auch ein Abzug, sodass er sich auch für Arbeiten die einen solchen erfordern eignet.

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Unser Halbleiterlabor ist u.a. ausgestattet mit:

Aufdampf-Halbleiterlabor2

  • Hall System Messplatz, ACCENT, Typ HL5560
  • Zwei Leica-Mikroskopen mit verschiedenen Kamera- und Objektivmöglichkeiten
  • Einem Waferritzer, Typ KarlSuss RA 120
  • Einem Semiconductor Parameter Analyzer von Hewlett Packard, Typ41558

Dazu sind noch eine Microwelle, Kühlmöglichkeiten und verschiedene Arbeitsbänke vorhanden.

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Verwandte Geräte