XPS/ AES Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie und Auger-Elektronen-Spektroskopie

XPS und AES sind empfindliche Analysemethoden, die am RUBION als Erweiterung und in Ergänzung zu den Ionenstrahlmethoden eingesetzt werden.

Sie erlauben die quantitative Bestimmung auch leichter Elemente (außer natürlich Wasserstoff), wobei die Quantifizierbarkeit bei den Ionenstrahlmethoden jedoch einfacher und genauer ist. Demgegenüber kann man jedoch aus XPS Spektren Informationen über die chemische Bindung der Elemente erhalten. Da XPS und AES prinzipiell auf die Analyse oberflächennaher Schichten beschränkt ist, können Tiefenprofile der Elementverteilung nur durch sequentielles Absputtern der Oberfläche erzielt werden.

Die XPS/ AES Anlage des RUBION steht auch externen Arbeitsgruppen zur Verfügung. Sie ist für die Untersuchung einer großen Bandbreite von Materialien konzipiert und stellt mit ihrem Basisdruck von 10-9 mbar nur geringe Anforderungen an die Proben. Sie ergänzt damit die an der RUB existierenden z.T. sehr spezialisierten Anlagen.

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