Untersuchung der chemischen Zusammensetzung von ultradünnen (PE)ALD-Schichten

Dieses Projekt widmet sich der Dünnschichtanalyse ausgewählter Materialien, die mit Hilfe des prozessintegrierenden Cluster-Tools des ForLab PICT2DES hergestellt wurden. Untersucht werden ultradünne dielektrische, metallische und halbleitende Schichten, die mittels (PE)ALD hergestellt werden, dabei liegt der Schwerpunkt auf 2D-Materialien. Die Filme werden mit Ionen- und Röntgenstrahlen charakterisiert, um einen Einblick in den Einfluss der Prozessparameter auf die Filmzusammensetzung zu erhalten.