Chemie Anorganischer Materialien: Projekte
Funktionale ultradünne Werkstoffe durch Atomlagenabscheidung für die nächste Generation der Nanosystemtechnik
Im Projekt werden neue Ausgangsmaterialien (Precursoren) für ALD entwickelt, die auf metallorganischen Verbindungen beruhen. Teststrukturen auf Basis von Schichten und Schichtenfolgen werden entworfen und hergestellt. Messverfahren werden entwickelt, um die Schichten und Schichtenfolgen gezielt zu charakterisieren. Gezielt heißt zum einen, dass die gewonnenen Erkenntnisse zur Schichtstruktur es erlauben werden, deren Einfluss auf das elektronische, mechanische und thermische Verhalten zu verstehen. Andererseits werden die Messverfahren so ausgelegt, dass die Eignung der ALD-Schichten für die spätere Anwendung in der Sensorik bereits hier charakterisiert wird und so gezielte Optimierungen möglich werden.
Oberflächenchemische Untersuchung von ALD und CVD Dünnschichten
Dieses Projekt unterstützt die schon etablierten RUBION-Projekte der IMC Gruppe. Komplementär zu dem RBS/NRA Projekt werden ausgewählte Dünnschichten der XPS und AES Analyse unterzogen, um Einsichten in ihre oberflächenchemische Zusammensetzung zu erhalten.
Spezialisierte Dünnschichtanalyse mittles hochenergetischer Strahlung
Dieses Projekt widmet sich der Dünnschichtanalyse ausgewählter Zielmaterialien, die von der IMC Gruppe in Kooperation mit Partnern aus der Forschung und Industrie hergestellt wurden. Ausgewählte, primär metallische, Schhichten werden mittles Ionen- und Röntgenstrahlen charakterisiert, um Einblicke hinsichtlich des Einflusses von Herstellungstechniken und Parametern auf die Schichtzusammensetzung und deren nutzbaren Eigenschaften zu gewinnen.