Spezialisierte Dünnschichtanalyse mittles hochenergetischer Strahlung
Dieses Projekt widmet sich der Dünnschichtanalyse ausgewählter Zielmaterialien, die von der IMC Gruppe in Kooperation mit Partnern aus der Forschung und Industrie hergestellt wurden. Ausgewählte, primär metallische, Schhichten werden mittles Ionen- und Röntgenstrahlen charakterisiert, um Einblicke hinsichtlich des Einflusses von Herstellungstechniken und Parametern auf die Schichtzusammensetzung und deren nutzbaren Eigenschaften zu gewinnen.