Charakterisierung der Dichte und Zusammensetzung von Übergangsmetallnitriden

Die Eigenschaften von Übergangsmetallnitriden (TM-N) hängen in hohem Maße von deren chemischen Zusammensetzung und Dichte ab. Die Dichte und Zusammensetzung hängen wiederum von den Syntheseparametern ab (z.B. Temperatur und Plasmaeigenschaften. Übergangsmetallnitride wurden mittels Magentronsputtern bei unterschiedlichen Prozessparametern hergestellt. Mechanische Eigenschaften wie der E-Modul und die Härte werden mittels Nanoindentierung ermittelt und die mechanische Schichtspannung mittels Substratkrümmungsmethode gemessen. Das Ziel des Projekts ist es Eigenschaftszusammenhänge zwischen Zusammensetzung, Dichte und mechanischen Eigenschaften zu erkennen und diese mit den Syntheseparametern zu vergleichen. Das Projekt ist Teilprojekt des Sonderforschungsbereichs SFB-TR 87.