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Materialanalyse



Ansprechpartner: Detlef Rogalla

Die Materialanalyse mit Ionenstrahlen erlaubt es, Festkörper hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung zu untersuchen. Je nach Fragestellung können verschiedenen Methoden angewandt werden. Es können Änderungen der Zusammensetzung in Abhängigkeit von der Tiefe bestimmt werden. Im Zusammenspiel mit anderen analytischen Methoden bieten die Ionenstrahl gestützten Methoden eine gute Quantifizierbarkeit, in manchen Fällen eine hohe Sensitivität und sie sind in gewisser Hinsicht zerstörungsfrei. Die Methoden beruhen darauf, dass ein Material unter Ionenbeschuss sekundäre Teilchen oder Strahlung aussenden, welche Informationen über die Materialzusammensetzung liefern.

Typische Analysen sind z.B. Untersuchungen an Dünnschichten (ALD, CVD, PLD, …) sowie Untersuchungen von oberflächennahen Bereichen sonstiger Probenmaterialien. Verschiedene Methoden werden in der Physik, Chemie, Geologie, Materialwissenschaften, Biologie und weiteren Bereichen zur Bestimmung der Zusammensetzung genutzt.

Derzeitig angewandte Methoden: