Kontakt:

Ruhr-Universität Bochum
RUBION
Universitätsstr. 150
D-44801 Bochum

Fon: +49 (0)234 32-24238
Fax: +49 (0)234 32-14215

Email: rubion (at) rub.de

Industrie Kooperation

HVEC Endstation

Um Wafer mit unterschiedlichen Durchmessern bearbeiten zu können, ist diese Endstation zur manuellen Bestückung im Einsatz. Der gesamte Implantations- zyklus wird computergestützt, vollautomatisch nach einem kundenorientierten Rezept durchgeführt.

Die Bestückung der Waferdisc's erfolgt manuell durch den Operateur in Abhängigkeit des zu implantierenden Produktes. Nach der Beladung der Disc wird die Kammer geschlossen und automatisch evakuiert. Die Messbereiche des Dosecontrollers dc 401 von der Fa. tribotec GmbH werden automatisch abgeglichen.

Nach erreichen der Parameter des Rezeptes, wird die Implantation vollautomatisch gestartet. Nach der Implantation wird die Kammer über die automatische Flutung wieder auf Atmosphärendruck gebracht. Die fertig implantierten Wafer werden vom Operateur entnommen. Der Zyklus kann von neuem beginnen.

Die Implantationsanlage besteht aus einem elektrostatischen Strahlrastersystem, Diagnoseeinrichtung und einer Implantationskammer. Das Strahlraster-System erzeugt Dreieckspannungen hoher Linearität und treibt damit die beiden Plattensätze für die horizontale und vertikale Strahlrasterung an.

Eine Diagnoseeinrichtung dient der Zentrierung des ungerasterten Strahls und der Dosismessung während der Implantation. Eine Maske bestimmt die Größe der bestrahlten Fläche auf der Probe. Um die Maske herum sind kleine Messblenden angeordnet, hinter denen sogenannte Corner-Cups montiert sind. Gleiche Ströme in den Corner-Cups bedeuten eine homogene Auslenkung.

Während der Implantation erfolgt die Dosismessung über einen dieser Cups.