Kontakt:

Ruhr-Universität Bochum
RUBION
Universitätsstr. 150
D-44801 Bochum

Fon: +49 (0)234 32-24238
Fax: +49 (0)234 32-14215

Email: rubion (at) rub.de

Industrie Kooperation

Ansprechpartner:
Qualitätsmanagement: Arnd Apool, (+49 234 32 - 26574)
Entwicklung: (rubitec) Dr. Jan N. Klug, (+49 234 32 - 11953)

Die Ionen Implantation im MeV-Bereich begann in Bochum Anfang der 1980er Jahre. Heute erlaubt ein sehr flexibles Setup Implantationen in einem breiten Spektrum.

In Zusammenarbeit mit der Fa. rubitec GmbH verfügen wir über jahrelange Erfahrung in der industriellen Hochenergie- Ionen- Implantation. Alle relevanten Prozesse sind zertifiziert nach der

DIN EN ISO 9001 : 2015

Alle Implantationen können unter der Reinraumklasse 100 durchgeführt werden. Hierzu wird ein Reinraum der Firma Schilling Engineering GmbH genutzt sowie entsprechende Flowboxen mit den entsprechenden Filtern. mehr »

Für die Implantation stehen 3 Endstations zur Verfügung:

HVEC mehr »

ROBOTER mehr »

NV10 mehr »