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REINRAUM / FLOWBOX

Unsere beiden Implantationsanlagen HVEC und NV10 befinden sich in einem geschlossenen Reinraum der Firma SCHILLING ENGINEERING. Dieser Reinraum erfüllt die Anforderungen der 

Klasse 1000 (US FED STD 209E) bzw. Klasse 100 / ISO-Klasse 5.

Für unsere Implantationsanlage ROBOT150 haben wir eine Flowbox installiert, die im Bereich des Waferhandlings ebenfalls die Anforderungen der 

Klasse 1000 (US FED STD 209E) bzw. Klasse 100 / ISO-Klasse 5 ermöglicht.

Für unsere Implantationsanlage ROBOT200 haben wir einem geschlossenen Reinraum der Firma solutions-handling. Dieser Reinraum erfüllt die Anforderungen der 

Klasse 1000 (US FED STD 209E) bzw. Klasse 100 / ISO-Klasse 5.

Auf Kundenwunsch können Produkte die erhöhte Anforderungen an Partikelfreiheit haben unter den Bedingungen der 

Klasse 100 / ISO-Klasse 5 prozessiert werden.