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Methoden
Industrie-Implantation
RUBION und die rubitec GmbH führen im Kundenauftrag Ionenbestrahlungen im MeV Bereich durch. Dabei steht ein großes Spektrum an unterschiedlichen Ionen zur Verfügung. Der verfügbare Energie- und Dosisbereich ist dabei von der jeweiligen Spezies und der Wafer-Größe abhängig. Die Möglichkeiten werden von uns anwendungsabhängig auf Anfrage ermittelt.
Wir sind nach DIN EN ISO 9001: 2015 zertifiziert.
