Newsportal - Ruhr-Universität Bochum
Methods
Other
Räume für die Ausbildung von Studierenden, Labore (Aufdampflabor, Halbleiterlabor) ohne Kontrollbereich nach Strahlenschutzverordnung (StrlSchV).
---
Unser Aufdampflabor ist u.a. ausgestattet mit:

- Aufdampfanlage 1: Cressington Carbon Coater, Typ 108auto
- Aufdampfanlage 2: Cressington Carbon Coater, Typ 108carbon/A
- Aufdampfanlage 3: BOC Edwards Auto 306
- Plasmaanlage: Diener electronic, Plasma-Surface-Technology, Typ xxx
- Hochtemperatur-Vakuumofen: ...
Dazu sind noch eine Glovebox und ein weiterer Ofen von Carbolite vorhanden.
In dem Raum befindet sich auch ein Abzug, sodass er sich auch für Arbeiten, die einen solchen erfordern eignet.
---
Unser Halbleiterlabor ist u.a. ausgestattet mit:

- Hall System Messplatz, ACCENT, Typ HL5560
- Zwei Leica-Mikroskopen mit verschiedenen Kamera- und Objektivmöglichkeiten
- Einem Waferritzer, Typ KarlSuss RA 120
- Einem Semiconductor Parameter Analyzer von Hewlett Packard, Typ41558
Dazu sind noch eine Microwelle, Kühlmöglichkeiten und verschiedene Arbeitsbänke vorhanden.